測量顯微鏡，采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。適用于錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數據處理等測量。

測量顯微鏡可分:(1)光學測量顯微鏡、(2)數碼測量顯微鏡兩類。

1.光學測量

采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。

       優點：工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。

2.數碼測量

       一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數模轉換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設備。適用于制造業、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產作業線及科學研究等部門。

       優點:小巧便攜，只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行準確數據測量、拍照備份圖片及數據資料;還可以根據客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。